Nový, rychlý mapovací elipsometr od Woollam

Americký výrobce J.A.Woollam Co. představil žhavou novinku na poli spektroskopických elipsometrů, dedikovanou pro rychlé mapování tenkých vrstev. Nový elipsometr Theta-SE využívá pro sběr elipsometrických dat nejnovější technologii Dual-Rotation a pro mapování využívá unikántího, patentovaného Dual-Theta stolku.

Tento unikátní design umožňuje velmi kompaktní provedení celého přístroje, v němž naleznete mimo jiné i fokusační nástavce, sestavu pro plně automatizované a extrémně rychlé zarovnání vzorku (motorizované osy z, tip, tilt; kamera, automatické rozpoznání obrazu a náklonu) a CCD detektor pro rychlý záznam celého spektra naráz.

Technologie Dual-Rotation umožňuje velmi přesné elipsometrické měření v širokém spektru, s možnostmi charakterizace vzorků na základě přístupů SE, g-SE i MM-SE.

Celý koncept tohoto nového elipsometru je optimalizován pro rychlé a precizní mapování s fokusací na povrch vzorku, novátorský přístup k polohování vzorku kombinující dva rotační stolky pro translaci waferu je toho jasnou ukázkou. Nyní už nemusíte čekat dlouhé hodiny na přesné zmapování i velkých optických povrchů. Třešničkou na dortu je příznivá cena zařízení včetně pokročilého analytického softwaru CompleteEASE.